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07中国（华南地区）真空与光电子技术论坛
暨广东省真空学会学术年会
（会后总结报告）
参与人：刘洋 黄启荣 许连斌 时间：07年12月10日
经过一天的培训，让我受益菲浅。从真空界前辈和专家的论述中了解到真空技术的应用无处不在。高科技、新能源都与真空技术紧密相连，现在的装饰薄膜在生产中出现的一些新问题以及新动向。磁控溅射、多弧、离子镀等工艺镀膜在实际生产过程中的运用都有了些了解。
现在可利用能源与环境污染成为全球性问题，寻找和研究清洁、无污染的可再生新能源是每个国家的研究热点。水，风和太阳能等都是可以利用的可再生能源，但是我们国家的风力资源不是很充足，水资源也在逐日减少，太阳能以可再生、无污染、取之不尽用之不竭的优势就成为了首选的新能源，由此能光电转换薄膜在太阳能电池上起到不可取代的地位。预计在以后50~100年时间内全球的50％~80％的能源来源于太阳能。
许多真空设备，零配件和润滑油的厂商也讲解了各个附件对真空的抽速以及对工艺和膜层质量的影响。例如：电源是真空电镀技术的核心组成部分，其可靠性与稳定性直接影响镀膜工艺的流畅性和膜层质量，也可以说镀膜技术的发展是随着电源技术发展而发展的；真空管道的设计亦对真空腔体抽速有着很大影响；不同的薄膜沉积工艺选择不同的真空泵；真空泵油的型号也直接影响泵的抽速和泵的使用寿命；现在环保形、低噪音、高抽速的干泵成为众多镀膜人的首选，国外在这种新型泵的技术上属于一个领跑者，我们国家在这种高转速、高性能的泵上突破和进展不明显；诸多方面表明 真空设备也在朝着节能，高效，长寿命的方向去发展。当前，硬质薄膜，光学增透、减反膜的应用已经慢慢成为薄膜的又一个发展趋势。我国目前硬质薄膜主要运用于机械制造和装饰两大方面。模具、切削刀具上使用超硬膜可以降低磨损、减少基体的热负荷，从而提高精度，延长寿命。现在国外已经开发出一种新的短共价键超硬材料，其原子间的膨胀系数很小，据说其坚硬的足以划破金刚石；装饰性超硬薄膜以其结合力强，热稳定好和高硬度的优势在装饰膜行业占据举足轻重的地位。光学薄膜技术又在数码、图象输入和存储、国防军事等领域起到了无可替代的作用。可见，纳米技术制备超硬膜，光学薄膜导入国防、航空事业即将成为本世纪研究及应用的热点项目和发展主流。
总结，此次是我第一次参加真空技术交流的培训，由于自身的技术水平限制，不能提供很多让人茅塞顿开的理论及见解。但是经过这次的学习，我了解到了自己的不足，在许多方面都还要去学习和实践，以理论联系实际的将书本上的知识变成自己的经验。结合我们公司的资源和优势进行一些技术的简化和创新是我后续工作的目标和重点，能为公司做出一些切实可用的事情。
报告人：许连斌
2007年12月12日
