ELEC8032微机械传感器复旦大学微电子学院由刀豆文库小编整理，希望给你工作、学习、生活带来方便，猜你可能喜欢“复旦大学微电子学”。
ELEC8032 微机械传感器 Micromachined Transducers
开课院系：信息科学与工程学院 任课教师：黄宜平教授 开课学期：第二 学分：3 周学时：3 总学时：54 课程性质：博士学位专业课 适用专业：微电子学与固体电子学 本课程的教学目的使学生掌握MEMS的基本工艺及制作，以及用MEMS制作的各类传感器和执行器。
教学内容及基本要求
将介绍当今MEMS的发展最新进展以及MEMS尤其是硅基MEMS的微加工技术包括体微加工和表面微加工技术及基本原理。并讨论讲述各类MEMS传感技术，包括机械、光、声以及化学生物传感器的原理、制备和应用。要求学生能掌握MEMS的基本原理和微加工制作以及各种MEMS传感器的设计制造和应用。考核方式及要求 考试。
学习本课程的前期课程要求
半导体物理、晶体管原理、集成电路工艺。教材及主要参考书目、文献与资料
Gregory T.A.Kovac, Micromachined Transducers, WCB/McGraw-Hill, 1998
