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动态全息自适应飞秒激光微纳并行加工技术的基础研究（技术>方法>手段）
飞秒激光微纳加工是一项集超快激光、显微镜、高精度三维移动和计算机控制技术于一体的新型微细加工方法，具有真三维、高分辨、热影响小，加工材料广泛等优点，近年来已成为微机电系统、微电子、微光学等领域的一种重要加工手段。为了提高加工效率，大多采用并行加工方法，目前主要的实现方法是多光束干涉或利用微透镜阵列、衍射分束器等光学元件对飞秒激光分束聚焦。上述方法能够用于二维和三维周期性结构的加工，但控制灵活性差，不易满足任意结构批量制作的要求。为此，本项目设计了一套动态全息自适应飞秒激光微纳并行加工系统。
本项目利用空间光调制器显示计算全息图对飞秒激光进行分束，采用反馈装置实时修正计算全息图，以达到自适应调整各衍射峰能量分布的要求。将空间光调制器集成到飞秒激光微纳加工光路中，根据扫描路径生成方案实时更替加载到空间光调制器上的计算全息图，实现任意结构的并行加工。本项目将为飞秒激光微纳加工技术的产业化作出贡献。
