光伏电池的技术员试题1由刀豆文库小编整理，希望给你工作、学习、生活带来方便，猜你可能喜欢“电气技术员试题和答案”。
PECVD考试试题
一、单选
1、当膜厚由薄逐渐变厚时，膜的颜色变化过程（）A、红色→深蓝→蓝色 B、深蓝→淡蓝→蓝色 C、淡蓝→蓝色→深蓝
2、当折射率较大时，工艺调整时需（）A、增大硅烷通量 B、减小氨气通量 C、减小硅烷通量
3、工艺运行过程中，当左侧膜厚偏小，右侧膜厚偏大时（）A、增大左侧微波源功率，减小右侧微波源功率 B、减小左侧微波源功率，增大右侧微波源功率
C、减小左侧微波源功率，同时减小右侧微波源功率
4、下列反应方程式，正确的是（）A、SiH4+NH3→SixNy+H2 B、SiH4+NH3→SiN+H2 C、SiH4+NH3→Si3N4+H25、哪种气体不是PECVD所需特气（）A、硅烷 B、氨气 C、甲烷
二、多选
1．PECVD沉积减反射膜的优点是：（）A．衬底温度低 B．淀积速率高 C．衬底温度高 D．淀积速率低 2．PECVD的能量源有（）A．高频电源 B．微波 C．直流电源 D．加热器 3.下列哪些参数可以调整膜厚（）A．工艺压力 B．沉积时间 C．加热温度 D．带速
4.常用的氮化硅沉积设备有哪些（）A．板式 B．管式 C．丝网印刷 D．清洗机
5.管式PECVD的设备组件有（）A．石墨舟 B．石英炉管 C．石墨框 D．真空泵
三、判断
1、工艺压力与沉积速率无关（）
2、板式PECVD增加带速能增加膜厚（）
3、管式PECVD的载片设备为石墨舟（）
4、管式PECVD设备报警退舟后，能通过补镀来完成完整的氮化硅膜沉积（5、氮化硅膜减反射原理为陷光原理（）
四、填空）
1.板式PECVD具体操作时，上完片应轻轻的敲击一下 的边缘，防止 在 掉落.2.当传输新工艺时要 后方可大量生产.3.对于石墨框固定位置产生色差的处理方式:.4.氮化硅膜厚超出范围，偏小时应 石墨框传输速度；偏大时应 石墨框传输速度。一般情况下，1cm/min对应 nm,具体视调整后的第一框膜厚为基准.5.氮化硅膜的作用主要是 和.五、简答题
1、简述PECVD的原理及目的.2、简述更换石英管流程及注意事项.3、为什么后清洗出来的片子在PECVD前搁置时间过长需要进行酸洗？
六、计算
156电池片的功率为4W，则其转换效率是多少？
七、案例分析
管式PECVD镀膜过程中发生高频报警，请具体说出高频报警的引起原因，并说出解决方案。
答案：
一、ACBAC
二、AB AB ABCD AB ABD
三、××√√×
四、石墨框 硅片 工艺腔 验证电性能 开腔取出掉片 减小 增大 1nm 减反射 钝化
五、1、原理：氨气硅烷反应生成氮化硅膜。目的：减反射，钝化
2、降温、开腔体卸石英管、卫生清理、通气孔（注意通透）、换上新石英管（铜管要直，密封圈无变形，胶带上无气泡，铝帽无划痕，关仓（擦干净密封圈）、抽真空。
3、因为长期暴露空气中硅片表面一方面被氧化，另一方面表面会被杂质污染
六、S=0.156×0.156=0.024336mP=4W
效率=P/1000S=16.44%
七、原因：
1、电池片没插好，接触到另一电极，导致短路。
2、电池片有隐裂，在周内破碎，接触到另一电极，导致短路。
3、炉内碎片接触到石墨舟的两个电极导致短路。
4、高频电源故障，发生警报。
5、高频电源冷却水流量不足，电源工作异常，发生警报。处理措施：
判定故障原因，退舟冷却后，补镀剩余时间。
