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(工业厂房装修行业 内部规范-给排水工艺
洁净厂房内的生产工艺对环境有较高的要求,需要对其生产车间的空气悬浮粒子浓度进
行控制,同时,还需保证一定的温度、湿度和压力,为此,除了合理的工艺布局,恰当的室内装修,配套的安装工程设计亦至关重要,给排水工程设计就是其中一个重要的环节,现笔者结合多年药厂给排水设计及施工现场服务经验,谈谈洁净厂房的给排水设计。1 1 系统的布置
为保证生产水质不被其它给水系统污染,洁净厂房内的给水系统按照生产、生活、消防
等用途不同,应分别设置,其中,生产用水又可按生产线的数量,分别布置,建议每条生产线给水系统的起端均设置检修阀门及计量水表,以便检修和成本核算。另外,考虑到洁净厂房中的生产工艺技术发展迅速,产品升级换代快,生产工艺变化多等特点,在管道设计中应留有充分的余量。
洁净厂房内的排水应清污分流,净化区和非净化区排水应尽量分开,集中到厂区污水处
理站的生产污废水,应经处理后,达标排放;但如果生产车间所排放的生产污水,含有强致敏性物质(例如:青霉素)或腐蚀性物质(例如:硫酸铵)以及带危险性菌类物质,则需就近经脱敏,硫酸铵以及蒸汽灭活处理后,与其它污废水混合,排放到厂区污水处理站,经集中处理再达标排放。2 2 管材的选用
洁净厂房的生产给水管传统的管材,一般采用镀锌钢管,考虑到洁净环境下,所选管材应有较好的化学稳定性,以保证水质在输送过程中下降最小;以及管道的内外壁应尽量光洁,管道及管件的接头处应有较好的平整度,以保证水流有较好的水力性能,以及降低微粒的沉积和微生物的繁殖,建议洁净厂房给水管材采用聚丙烯(PP)管或不锈钢管。
排水管材的选择,应针对排水的水质特点选用,一般原则是:在连续排水温度低于 40℃时,选用聚氯乙烯(UPVC)排水管,该管材具有化学稳定性强,水力性能好的优点;在连续排水温度介于 40~80℃时,建议采用既具有较高耐温性能,又有较好水力性能及化学稳定性的璃纤增强聚丙烯排水管;连续排水温度高于 80℃时,采用排水铸铁管,但应注意防腐处理。3 3 管道的敷设
洁净厂房内管道的敷设方式直接影响洁净室的空气洁净度,因此管道应尽量在洁净室外
敷设,最大限度地减少洁净室内的管道,通常是各种给排水干管布置在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或直接地下埋设,特别是有上下夹层的洁净厂房,给排水干管大都设在下夹层内。对于穿过洁净室无法暗装的给排水立管及消防栓,应尽量在净化区墙角处敷设,并应采用彩钢板包嵌,阴阳角均做成圆弧角,以免积灰。为防止洁净室外未净化空气渗入室内,同时也为了防止洁净室内的洁净空气(湖南纯臻净化工程有限公司 www.daodoc.com ***8 胡经理)向外渗漏,造成能量的浪费,甚至影响室内的洁净度,给排水管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时,应设套管,套管内管段不得有接头,管道和套管之间必须用不起尘的密封材料封闭。在实在无法做套管的部位,必须采取严格的密封措施,主要的密封方法有微孔海绵、有机硅橡胶、橡胶圈及环氧树脂冷胶等。4 4 卫生设备的设置
手是交叉污染的媒介,工作人员在接触工作服之前应洗手,洗手的龙头不应直接用手开
启,可采用感应式或肘式洗手龙头。洗净的手不可用普通毛巾擦抹,因为普通毛巾易产生纤维尘,最好的办法是热风吹干,所以洗手室不但要设置洗手盆,而且还需设置烘手器。洁净区内设置厕所不仅容易使洁净室受到污染,还会影响洁净区的压力控制,所以有空气洁净度要求的生产区内不宜设厕所。厕所宜设在盥洗室之前,且厕所应有前室,前室还应设置供人员入厕穿用的套鞋。厕所内卫生洁具为便于冲洗,还应采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。5 排水设备附件及小型排水构筑物
对于跨度较大的洁净厂房,其生产排水横管往往较长,超过了规范允许的最大长度,为了
清通方便,往往在排水横管上,每隔一定距离设一清扫口,清扫口尽量设在非净化区,如不能避免要在净化区设置,清扫口要选用易清洁的全铜制品。洁净室尽量不设地漏,若工艺需要设置,亦尽量少设,且应选用材质不易腐蚀,内表面光洁,不易结垢,有密封盖,开启方便,能防止废水废气倒灌的洁净地漏。另外,为了顺利收集排水,保持地面清洁,地漏的顶面标高应低于周围地面 5~10mm。
为了防止通风系统正常工作时,室内洁净空气通过排水管向外渗漏;而当通风系统停止工作时,室外非洁净空气向室内倒灌,影响洁净室的洁净度、温湿度,并消耗洁净室的能量,与排水管相连的各个排水点均应设水封装置,水封深度不得小于 50mm。这是维持洁净室内各项技术指标的一个重要措施。为了进一步防止这一现象的发生,同时也为防虫防鼠,洁净区排水出户管末端在接到室外检查井之前,往往还增设水封井。6 6 循环水系统
为了保护水资源以及降低生产成本,用于生产设备的冷却水,其使用前后,除了出水水温
有了较大的提高,水质变化不大,经冷却塔降温处理后,可重复使用。需要指出的是,由于循环冷却水在循环过程中会产生蒸发、风吹等水量损失,造成了水的浓缩,含盐量增加,直至沉积;以及水中微生物繁殖和尘埃悬浮物、腐蚀剥落物及其它杂质,形成沉积物,为提高设备热交换率及延长设备寿命,循环冷却水需进行水质处理。
八、安装管理程序
8.1 无尘车间洁净室施工管理制度 8.1.1 背景
8.1.1.1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。
本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。
8.1.1.2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以 外的所有主厂房内的地方。
8.1.1.3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有
洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。8.1.2 责任与义务
8.1.2.1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序,并且在他们疏于遵
从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁 净建设规则和程序。
8.1.2.2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查,并填写检查
清单。承包商负责提供洁净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。
8.1.2.3 承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和
衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训,并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。
8.1.2.4 开始阶段,承包商应在每个入口处安排人员(除非半导体公司在该入口处安排
有人员)以确保本规则和程序的执行。8.1.2.5 重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将 被除名。
九、设备安装 净化设备 风淋室
风淋室是现代工业洁净厂房中必不可少的洁净配套设备,它能去除人和物表面的尘埃,同时又对风淋室两侧的洁净区和非洁净区起到了缓冲与隔离的作用。该设备广泛应用于食品、医药、生物工程及精密电子等领域。风淋室分为“普通型和联锁型”两类:普通型采用手动启动吹淋的控制方式,个别操作者会选择“不经过吹淋就离开”的逃避方式。这使得洁净区的空气洁净度难以保证。甚至可能会影响到产品质量。洁净室内,在动态情况下,细菌及尘埃的最大发生源是操作者,当操作者进入洁净室之前,必须用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘埃颗粒 高效送风口
本产品为万级,十万级乱流洁净室新建,改建工程净化空调系统终端送风装置。可广泛应用与电子工业,精密机械,冶金,化工等工业及医疗,制药,食品等部门的净化空调系统。本装置主要由静压箱,高效过滤器,铝合金扩散板,标准法兰接口等组成,造型美观,结构简单,使用可靠。本送风口为下装式,具有在洁净室内安装和更换过滤器方便的优点,高效过滤器采用机械压紧或液槽密封装置,确保风口安装无泄露,密封可靠,净化效果好 传递窗
传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或洁净室与洁净室之间的小货物传递,可有效的减少洁净室门的开启次数,把洁净区的污染减少的最低程度。根据使用要求,传递窗箱体表面可喷塑,内胆可用不锈钢,外表美。洁净工作台
无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化,其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面,采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面,或采用不锈钢做台面; 箱体,用热扎薄钢板与骨架气焊易变形,可采用冷轧薄板折边搭接,大电流电焊,内表面需粘贴消声材料,最大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封,所有缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同,尽量减少盲区;风机、电机,选用高压低噪的小型风机,风机与箱体的连接采用软连接,电机及风机均应采取减振措施; 灯罩,日光灯要尽量设置在灯罩内,灯罩内要通过洁净气流;预过滤器,须设置预过滤器,容量要大,在使用风量下,初阻力宜小于 50Pa;高效过滤器,尽量采用大面积的过滤器,减少空气过滤器的数量,过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。FFU 风机过滤单元
FFU 为英文缩写,全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤器单元(机组)”,也称空气过滤单元。风机从 FFU 顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的 FFU 执行标准略有不同,业内通行的指标为:过滤后的洁净空气在整个出风面以 0.45M/S±20%的风速匀速送出,但稳定性差距很大。经过实地检测,国际品牌普遍难以适应“中国环境因素”,质量虽然普遍高于国产公司,但 1 年后的稳定性测试普遍不理想; 而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准,并逐步以实地检测数据(之前多依靠行业报告)更真实的体现工程性价比.层流罩
层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体,风机,初效空气过
滤器,高效空气过滤器。阻尼层,灯具等组成,箱体喷塑或采用不锈钢材料。该产品即可以悬挂,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个联接组成带状洁净区域。
十、洁净车间安装
必须采取洁净措施保持安装洁净。
各类部件如节气闸,扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应该用
IPA 和水的混合物擦拭。洁净安装过程中,必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度,对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。最后洁净
洁净区域的所有安装完成后,要进行最后洁净。洁净要用 IPA 和水的混合物擦拭。先洁净天花板,然后是墙壁,墙壁应从上到下,最后是地面。最后洁净完成后,gridline B 东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。最后洁净完成后,任何进入的人都必须通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。
十一、地面工程 地面工程 6.1 PVC 地板 施工工艺:
1、清理地面,清除浮沉,定位铺设基准线
2、铺拉接地倒网(铜箔),涂刷导电胶
3、铺贴 PVC 地板,滚压 PVC 地板
4、开 4mm 静电接地.适用场所: 电子厂,半导体厂,光电产业,包装品,机电房、汽车
工业等 02 防静电 PVC 地板。6.2 高架地板 施工工艺:
1、在清洁的地面上划线
2、支架横梁装配
3、调整横梁水平、紧固螺钉
4、铺设活动地板
5、施工完毕后清扫地板表面
适用场所: 电子厂,半导体厂,光电产业,机电房.恒温恒室实验室,百级无尘车间洁净厂 房等 10 6.3 环氧树脂自流平型地流 施工工艺:
1、打磨地面.清扫、吸尘
2、涂刷封闭底涂
3、刮腻子(中涂)
4、打磨、吸尘
5、自流平面
适用场所: 电子厂,电器厂,食品厂,化妆品厂,包装厂,纺织厂,服装厂等 6.4 环氧树脂防静电自流平型 施工工艺:
1.基材处理:打磨并清洁地面,要求基材干燥、无空鼓; 2.底涂涂装:导电底涂涂装; 3.铺设铜箔:横竖交叉铺设;
4、中涂涂装:根据所落地面厚度镊防静电中涂;
5、面涂涂装:镬图环氛防静电自流平面漆。
适用场所: 适用于通讯设备制造厂、芯片制造厂、S 下 M 车间、光学仪器厂、实验室等有较
高防静电要求的洁净厂房。
十二、完毕验收
十三、定期检查
无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准
8.1.1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求,必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。
8.1.2 检测测试设备:激光粒子记数器
8.1.3 检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测 8.1.4 检测条件:静态洁净度测试
8.1.5 数据收集整理:将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季度末(或下季度初)给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。8.1.6 各洁净区域洁净级别标准:按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。区域、系统名称 洁净等级标准 相当于 ISO 级别
等效于GB级别
K-1 系统 划片区域 静态 1 万级 K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7 CLASS 8 CLASS 7 CLASS 8 K-2 系统 包封区域 静态 30 万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3 K-3 系统 搪锡区域 静态 30 万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3 K-4 系统 测试区域 静态 30 万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3 K-8 系统 电镀区域 静态 30 万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3 现有其他空调系统 舒适性空调系统,无洁净要求 Not Applicable Not Applicable 8.1.7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等(包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等)执行厂务部相关 SOP 文件。8.1.8 参考文件
FSD-SOP-01 《供电操作指导书及规范制度》 FSD-SOP-4-1 《AHU 系统操作指导书》 FSD-SOP-4-2 《洗气塔操作指导书》 FSD-SOP-4-3 《锅炉操作指导书》 FSD-SOP-4-4 《制冷机操作指导书》 14 FSD-SOP-06 《厂务部安全操作规程》 FSD-SOP-07 《设备维护保养流程》 FSD-SOP-08 《消防系统操作指导书》 FSD-SOP-12 《厂务部运行管理制度》
FSD-SOP-13 《市政动力能源中断紧急应变计划》 FSD-SOP-20 《厂务核心机组应急切换操作指导书》 ATD1210C 《能源管理标准》 JVP1301C 《公共设施管理规定》
《湖南电子制造业无尘车间》
《湖南净化工程空调的施工》
《湖南洁净厂房系统设计规范》
十四、部分装修答疑
十五、各行业装修效果鉴赏