动态泄漏率检查_反措动态检查

其他范文 时间:2020-02-27 08:41:09 收藏本文下载本文
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动态泄漏率检查

注:对于低于1.01G EPROM的版本,请联系中国服务部。

警告:电源关闭并锁定了高压断路器(S)。否则,这样可能会导致触电死亡。第1步在微处理器控制板,安装服务跳线JP4和JP5。

第3步按F4在诊断面板,直到模式9.0出现在系统压力显示。该压力控制阀在真空泵将关闭,显示屏将模式之间交替9.0和系统压力。

第5步-记录初始压力,等待10分钟,然后记录新的压力。减去从第二和随后的第一压力除以10这个数字。其结果是动态泄漏率在托/分钟。如果是大于静态泄漏率,执行动态真空泄漏故障排除后面。

EXAMPLE: Initial preure = 95.2 torr.After 10 minutes the new preure = 96.0 torr.96.0 torr-95.2 torr ¨ 0.8 torr ¸ 10 minutes = 0.08 torr/minute 0.8 torr

动态真空泄漏故障排除

如果激光似乎有一个动态真空泄漏,请检查以下内容:

·小裂缝谐振器玻璃

·不良的坐姿茎在上游气歧管或上游换热器

·在上游气歧管或上游换热器的松端板

·宽松阴极耦合器,耦合器终板和谐振器耦合中心

如果仍未检测的动态真空泄漏源,请联系中国服务部。

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